您的位置:网站##深圳蒲友论坛 > 产品展示 > 电工仪表 > 电阻测量仪 > DH-500JJCDH-500JJC型多靶磁控溅射镀膜机DH500JJC生产厂家
◆ 镀膜方式:可实现多靶共溅模式;
◆ 磁控靶:圆柱/平面靶;
◆ 进气系统:三路质量流量计;
◆ 镀膜室体积:500mm*500mm*600mm;
◆ 极限真空度:5X10-5 Pa,恢复真空:从大气抽至6.7X10-4 Pa (40分钟);
◆ 真空抽气系统:机械泵与分子泵组成;
◆ 真空测量系统:数显复合真空计;
◆ 工作电源:直流电源500W;射频电源500W(13.56MHz);加热控温电源;
◆ 工件烘烤温度:室温~800℃可控可调(PID控温);
◆ 选配件:石英晶振测厚仪、冷却水机组等;
◆ 供电电源:三相AC380V,50Hz。
◆ 特殊规格可定制。
DH-500JJC型多靶磁控溅射玻璃镀膜机DH500JJC产出产家SXL-1008 SX2-5-12N SXL-1208 SX2-4-13N SXL-1216 SXL-1002 YAZDI-10 SX2-12-16 SX2-8-16 SX2-10-13 SX2-8-13 SX2-6-13 SX2-4-13 SX2-10-1